স্ট্যান্ডার্ড হিটিং প্লেট থেকে দীর্ঘ উষ্ণ-আপ সাইকেল এবং অসম থার্মাল জোন
সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের জন্য ক্রায়োজেনিক প্লেটিং প্রক্রিয়া এবং উচ্চ{0}} নির্ভুল অ্যালয় আবরণগুলি 0-15 ডিগ্রির কাছাকাছি তরল তাপমাত্রা শুরু করে। দীর্ঘ-মেয়াদী কম-তাপমাত্রার ল্যাব টেস্ট ডেটা দীর্ঘ প্রিহিটিং চক্র এবং ক্রমাগত কোল্ড জোন রেকর্ড করে যখন প্রচলিত হিটিং প্লেটগুলি কোল্ড প্লেটিং ট্যাঙ্কগুলিতে স্থাপন করা হয়। বেশিরভাগ প্রসেস অপারেটর শুধুমাত্র টার্গেট ওয়ার্কিং তাপমাত্রায় পৌঁছানোর জন্য হিটিং রানটাইম বাড়ায়, হিটিং প্লেটের অভ্যন্তরীণ তারের লেআউট এবং শেল গঠন ক্রায়োজেনিক তরল তাপ স্থানান্তর বৈশিষ্ট্যের সাথে মানানসই করতে ব্যর্থ হয়। ঠান্ডা কম-সান্দ্রতা প্লেটিং দ্রবণগুলি আশেপাশের ঠাণ্ডা ওয়ার্কশপের বাতাসে দুর্বল তাপ শোষণ ক্ষমতা এবং দ্রুত তাপ অপচয় করে। জেনেরিক হিটিং প্লেটে মোটা ভারী শেলগুলি তাপকে ঠান্ডা তরলে স্থানান্তর করার আগে স্বয়ং{10}}তাপে প্রচুর শক্তি খরচ করে, উষ্ণতার সময়কালকে মারাত্মকভাবে দীর্ঘায়িত{11}} করে৷ ব্যাপক ব্যবধানে গরম করার তারগুলি অপর্যাপ্ত তাত্ক্ষণিক তাপ আউটপুট ছেড়ে দেয়, ট্যাঙ্কের দেয়াল এবং ওয়ার্কপিসের কাছে বড় ঠান্ডা অঞ্চল ছেড়ে যায়, যা ক্রায়োজেনিক নির্ভুল আবরণের জন্য অসম ধাতব জমা এবং কম ব্যাচ পাস রেটকে ট্রিগার করে। ঘন ঘন হিমাঙ্ক থেকে অপারেটিং তাপে বারবার তীব্র তাপমাত্রার পরিবর্তনও অঅপ্টিমাইজড হিটিং প্লেটগুলিতে তাপীয় ক্লান্তিকে ত্বরান্বিত করে।
কম-তাপমাত্রা উষ্ণ-উচ্চ গতি বৃদ্ধিকারী দুটি মূল নকশা নির্দেশক
পাতলা কম-জড়তা শেল নির্মাণ এবং ঘন সমানভাবে বিতরণ করা হিটিং তারের বিন্যাস যৌথভাবে ক্রায়োজেনিক ঠান্ডা স্নানের জন্য হিটিং প্লেটের গরম করার দক্ষতা নির্ধারণ করে। প্রথাগত ভারী স্তরযুক্ত হিটিং হার্ডওয়্যারগুলি গুরুতর তাপীয় ল্যাগের ভুগছে, যখন অবিচ্ছিন্নভাবে ঢালাই করা PTFE হিটিং প্লেটগুলি হালকা ওজনের পাতলা-প্রাচীরের কাঠামো গ্রহণ করে যা নিম্ন তাপমাত্রার শুরুর পরিস্থিতির জন্য তৈরি করা হয়। বড় আকারের পুরু বাইরের শেলগুলি বড় তাপীয় ভর সঞ্চয় করে, ঠান্ডা প্রলেপ দেওয়া তরলের পরিবর্তে প্যানেলগুলিকে উষ্ণ করার জন্য শক্তির অপচয় করে। ঢিলেঢালা ব্যবধানে এমবেডেড তারগুলি ঠাণ্ডা উৎপাদন কক্ষে অবিচ্ছিন্ন পরিবেষ্টিত তাপের ক্ষতি অফসেট করতে ঘনীভূত তাত্ক্ষণিক তাপ উত্পাদন করতে পারে না। ভার্জিন মোল্ডেড PTFE কম্প্যাক্ট ইউনিফর্ম তারের ব্যবধান সহ বিজোড় পাতলা-ওয়াল প্যানেল গঠন করে, স্ব-উষ্ণতা শক্তির ক্ষতি কমিয়ে এবং ক্রায়োজেনিক শুরু অবস্থা থেকে গোসলের সামগ্রিক তাপমাত্রা বৃদ্ধিকে ত্বরান্বিত করে।
ক্রায়োজেনিক লো-টেম্প বাথ হিটিং প্লেট ম্যাচিং বেঞ্চমার্ক টেবিল
ক্রমাগত কোল্ড স্টার্টআপ চক্র পরীক্ষার ডেটা প্রাথমিক স্নানের তাপমাত্রার রেঞ্জের উপর ভিত্তি করে কাঠামোগত মানগুলি সাজায়
সারণী 1: দ্রুত উষ্ণ-উষ্ণ প্লেটের জন্য কাঠামোগত মানদণ্ড
| প্রাথমিক ক্রায়োজেনিক বাথ টেম্প | টার্গেট ওয়ার্ম-আপ সময়ের সীমা | ন্যূনতম শেল পুরুত্ব | ওয়্যার স্পেসিং স্পেসিফিকেশন | ক্রস-ট্যাঙ্কের তাপমাত্রা বিচ্যুতি |
|---|---|---|---|---|
| 0-8 ডিগ্রি অতি-ঠান্ডা শুরু তরল | 7 মিনিটের কম বা সমান স্থিতিশীল তাপ-আপ | 1.1 মিমি | ঘন 19 মিমি অভিন্ন ব্যবধান | ±0.3 ডিগ্রীর চেয়ে কম বা সমান |
| 8-15 ডিগ্রি হালকা ক্রায়োজেনিক সমাধান | 10 মিনিটের কম বা সমান স্থিতিশীল তাপ-আপ | 1.2 মিমি | সুষম 23 মিমি ডুয়াল-সারি লেআউট | ±0.5 ডিগ্রীর চেয়ে কম বা সমান |
| 15-22 ডিগ্রী সামান্য ঠান্ডা স্নানের আগে- | 14 মিনিটের কম বা সমান স্থিতিশীল তাপ-আপ | 1.3 মিমি | স্ট্যান্ডার্ড 27 মিমি একক-সারি লেআউট | ±0.7 ডিগ্রীর থেকে কম বা সমান |
| 22 ডিগ্রী পরিবেষ্টিত তাপমাত্রার তরল এর চেয়ে বড় বা সমান | 17 মিনিটের কম বা সমান স্থিতিশীল তাপ-উপর | 1.4 মিমি | আলগা 31 মিমি প্রশস্ত ব্যবধান | ±0.9 ডিগ্রির চেয়ে কম বা সমান |
ক্রায়োজেনিক প্লেটিং ট্যাঙ্ক সরঞ্জাম অপ্টিমাইজেশান নির্দেশিকা
অর্ধপরিবাহী ক্রায়োজেনিক আবরণ লাইনের জন্য প্রি-হিটিং অপেক্ষার সময় কাটাতে 8 ডিগ্রির নিচে অতি-ঠান্ডা শুরুর স্নানের জন্য পাতলা-দেয়ালের ঘন-তারের হিটিং প্লেটের প্রয়োজন হয়। বৃহৎ ক্রায়োজেনিক প্রসেসিং ট্যাঙ্কগুলি অবিরাম ঠান্ডা মৃত অঞ্চলগুলি দূর করার জন্য একটি বড় একক ইউনিটের পরিবর্তে একাধিক ছোট বিতরণ করা হিটিং প্লেট গ্রহণ করা উচিত। অবিরাম ঠাণ্ডা ওয়ার্কশপ পরিবেশের কারখানাগুলিকে পরিবেষ্টিত তাপের ক্ষতি কমাতে এবং উষ্ণতার চক্রকে আরও সংক্ষিপ্ত করতে-অন্তরক ট্যাঙ্কের প্রাচীরের আস্তরণের সাথে দ্রুত গরম করার প্লেট যুক্ত করতে হবে। নিয়ন্ত্রিত কম-তাপমাত্রার তুলনা পরীক্ষায় দেখায় স্ট্যান্ডার্ড ভারী-শেল হিটিং প্লেটগুলি ক্রায়োজেনিক বাথ ওয়ার্ম আপ টাইম 2.6–4.0 বার বাড়িয়ে দেয়, যখন পাতলা-ওয়াল অপ্টিমাইজ করা PTFE হিটিং প্লেটগুলি দ্রুত গরম করার পরে {1}5 মুক্ত তাপমাত্রা থেকে শক্ত তাপীয় অভিন্নতা বজায় রাখে৷
সারাংশ এবং ক্রায়োজেনিক ওয়ার্ম-আপ কাস্টম হিটিং প্লেট ডিজাইন সমর্থন
সাধারণ হিটিং প্লেটের উচ্চ তাপীয় জড়তা এবং বিক্ষিপ্ত তারের বিন্যাস ক্রায়োজেনিক নিম্ন তাপমাত্রার প্রলেপ ট্যাঙ্কে দীর্ঘ প্রিহিটিং পিরিয়ড এবং অসম তাপমাত্রা বন্টনের দিকে পরিচালিত করে। প্ল্যান্ট লো-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া দলগুলি দ্রুত ঠান্ডা স্টার্টআপ কর্মক্ষমতার জন্য বিদ্যমান তাপীয় সরঞ্জামগুলিকে আপগ্রেড করতে প্রাথমিক তাপমাত্রা গ্রেডিং বেঞ্চমার্ক টেবিলের উল্লেখ করতে পারে। কাস্টম পাতলা-প্রাচীর ঘন-তারের কম-ল্যাগ PTFE হিটিং প্লেটগুলি একচেটিয়াভাবে সেমিকন্ডাক্টর ক্রায়োজেনিক প্লেটিং উত্পাদন লাইনের জন্য তৈরি করা যেতে পারে। নিম্ন-তাপমাত্রা ইলেক্ট্রোপ্লেটিং ইঞ্জিনিয়াররা সম্পূর্ণ ক্রায়োজেনিক হিট-প্রাথমিক স্নানের তাপমাত্রার পরিসীমা, ট্যাঙ্কের তরল ভলিউম এবং লক্ষ্য তাপমাত্রা স্থিতিশীলকরণের সময়সীমা জমা দেওয়ার পরে সিমুলেশন রিপোর্ট এবং লেআউট অপ্টিমাইজেশন পরামর্শ প্রদান করতে পারে।
