একটি কম্প্যাক্ট ভেজা বেঞ্চ টুলে একটি ব্যর্থ PTFE নিমজ্জন হিটার প্রতিস্থাপন করার জন্য একটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধা প্রয়োজন। উপলব্ধ স্থানটি ট্যাঙ্কের প্রাচীর বরাবর একটি 150 মিমি চওড়া স্লট, 400 মিমি গভীর, একটি 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ খোলার সাথে। প্রয়োজনীয় ওয়াটেজ ছিল 2.5 কিলোওয়াট। স্ট্যান্ডার্ড ক্যাটালগ হিটারগুলি হয় খুব চওড়া, খুব দীর্ঘ, বা স্থানের জন্য ওয়াটের ঘনত্বে খুব বেশি। সুবিধার জন্য একটি কাস্টম হিটারের প্রয়োজন ছিল যা স্লটের সাথে মানানসই এবং নিরাপদ ওয়াট ঘনত্বে পরিচালিত হয়।
সীমিত সেমিকন্ডাক্টর টুল-স্পেসের জন্য একটি PTFE নিমজ্জন হিটার নির্দিষ্ট করার জন্য একটি বড় প্লেটিং ট্যাঙ্কের জন্য নির্দিষ্ট করার চেয়ে ভিন্ন পদ্ধতির প্রয়োজন। স্থানের সীমাবদ্ধতাগুলি কঠোর, রসায়ন প্রায়শই আরও আক্রমণাত্মক হয় এবং তাপমাত্রার অভিন্নতার প্রয়োজনীয়তাগুলি আরও বেশি দাবি করে। স্পেসিফিকেশন অবশ্যই একটি খুব ছোট খামের মধ্যে ওয়াটের ঘনত্ব, পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল এবং শারীরিক ফিটের মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখতে হবে।
মহাকাশ সীমাবদ্ধতা বিশ্লেষণ
প্রথম ধাপ হল উপলব্ধ স্থানকে সুনির্দিষ্টভাবে ম্যাপ করা। একটি সেমিকন্ডাক্টর টুলে, হিটার স্পেস প্রায়শই একদিকে ট্যাঙ্কের প্রাচীর দ্বারা, অন্য দিকে ওয়েফার ক্যারিয়ারের পথ এবং নীচের ট্যাঙ্কের নীচে দ্বারা সংজ্ঞায়িত করা হয়। উপলব্ধ ভলিউম একটি অনিয়মিত আকার হতে পারে যা একটি স্ট্যান্ডার্ড হিটার পূরণ করতে পারে না।
মূল মাত্রাগুলি হল সর্বাধিক প্রস্থ, সর্বাধিক গভীরতা, সর্বোচ্চ উচ্চতা এবং চলমান অংশগুলির ছাড়পত্র। ফ্ল্যাঞ্জ ওপেনিং হিটারের সর্বাধিক ব্যাস নির্ধারণ করে যা ঢোকানো যেতে পারে। নিমজ্জন গভীরতা ব্যবহারযোগ্য উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সংজ্ঞায়িত করে।
| মাত্রা | সাধারণ সীমাবদ্ধতা | হিটার ডিজাইনের উপর প্রভাব |
|---|---|---|
| উপলব্ধ প্রস্থ | 100-200 মিমি | হিটারের প্রস্থ সীমাবদ্ধ করে |
| উপলব্ধ গভীরতা | 300-500 মিমি | উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সীমাবদ্ধ |
| ফ্ল্যাঞ্জ খোলার | 80-150 মিমি | হিটার সন্নিবেশ সীমাবদ্ধ |
| নিমজ্জন গভীরতা | 200-400 মিমি | উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সীমাবদ্ধ |
| বাহককে ছাড়পত্র | 50-100 মিমি | প্রোট্রুশন সীমাবদ্ধ করে |
সেমিকন্ডাক্টর ভেজা বেঞ্চ টুলে স্থানের সীমাবদ্ধতা
ওয়াট ঘনত্ব এবং সারফেস এরিয়া গণনা
1.0 ওয়াট/সেমি² এর একটি নিরাপদ ওয়াট ঘনত্বে একটি 2.5 কিলোওয়াট ডিউটির জন্য 2,500 সেমি² খাপ পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল প্রয়োজন। একটি স্থান-সীমিত টুলে, সেই পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল অর্জনের জন্য একটি কমপ্যাক্ট মাল্টি-পাস কনফিগারেশন প্রয়োজন।
একটি 50 মিমি খাপের ব্যাসে, 2,500 সেমি² এর জন্য 1,592 মিমি উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য প্রয়োজন। একটি 400 মিমি গভীর ট্যাঙ্কে 300 মিমি ব্যবহারযোগ্য নিমজ্জন, যা প্রতিটি 265 মিমি ছয়টি পাসে অনুবাদ করে। মাল্টি{10}}পাস বান্ডেলটি প্রায় 300 × 250 মিমি ফুটপ্রিন্টের মধ্যে ফিট করে।
| খাপ ব্যাস | পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল প্রতি 100 মিমি | 2,500 cm² এর জন্য উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য | 300 মিমি এ পাস | পদচিহ্ন |
|---|---|---|---|---|
| 32 মিমি | 100 সেমি² | 2,500 মিমি | 9 | 300 × 250 মিমি |
| 40 মিমি | 126 সেমি² | 1,984 মিমি | 7 | 300 × 220 মিমি |
| 50 মিমি | 157 সেমি² | 1,592 মিমি | 6 | 300 × 200 মিমি |
| 63 মিমি | 198 সেমি² | 1,263 সেমি² | 5 | 300 × 180 মিমি |
1.0 W/cm² এ 2.5 kW ডিউটির জন্য একাধিক-পাস কনফিগারেশন
স্লটে মাল্টি-পাস বান্ডেল ফিট করা
মাল্টি-পাস বান্ডেলটি অবশ্যই ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মধ্য দিয়ে এবং উপলব্ধ স্লটে ফিট হতে হবে। একটি 200 মিমি প্রস্থের একটি বান্ডিল 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মাধ্যমে মাপসই হবে না। সমাধান হল পাসগুলিকে উল্লম্বভাবে অভিমুখ করা যাতে বান্ডিলটি এক দিকে সরু এবং অন্য দিকে প্রশস্ত হয় এবং সংকীর্ণ অভিযোজনে ফ্ল্যাঞ্জের মাধ্যমে এটি সন্নিবেশ করা হয়।
30 মিমি ব্যবধানে 50 মিমি ব্যাসের ছয়টি পাস সহ একটি বান্ডেলের প্রস্থ প্রায় 6 × 50 + 5 × 30=450 মিমি এক দিকে এবং অন্য দিকে 50 মিমি। যদি ফ্ল্যাঞ্জের খোলার 100 মিমি হয়, বান্ডিলটি খোলার সাথে সারিবদ্ধ 50 মিমি মাত্রার সাথে ঢোকানো যেতে পারে, তারপর অবস্থানে ঘোরানো হয়।
| বান্ডিল কনফিগারেশন | প্রস্থ (পাস) | গভীরতা (ব্যাস পাস) | 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ ফিট করে | 150 মিমি স্লট ফিট করে |
|---|---|---|---|---|
| 4 পাস, 50 মিমি, 30 মিমি ব্যবধান | 290 মিমি | 50 মিমি | হ্যাঁ (ঘোরানো) | হ্যাঁ |
| 5 পাস, 50 মিমি, 30 মিমি ব্যবধান | 370 মিমি | 50 মিমি | হ্যাঁ (ঘোরানো) | হ্যাঁ |
| 6 পাস, 50 মিমি, 30 মিমি ব্যবধান | 450 মিমি | 50 মিমি | হ্যাঁ (ঘোরানো) | প্রান্তিক |
| 6 পাস, 40 মিমি, 25 মিমি ব্যবধান | 365 মিমি | 40 মিমি | হ্যাঁ (ঘোরানো) | হ্যাঁ |
বান্ডিল কনফিগারেশন এবং ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মাধ্যমে মাপসই
টাইট স্পেসে প্রবাহ এবং তাপমাত্রার অভিন্নতা
একটি স্থান-সীমিত টুলে, হিটারের চারপাশে প্রবাহ প্রায়ই কাছাকাছি ট্যাঙ্ক প্রাচীর এবং ওয়েফার ক্যারিয়ার দ্বারা সীমাবদ্ধ থাকে। প্রবাহ অসম হতে পারে, একদিকে উচ্চ বেগ এবং অন্যদিকে কম বেগ। এটি কম -বেগের দিকে হট স্পট তৈরি করতে পারে।
একটি ছিদ্রযুক্ত বাফেল বা একটি ফ্লো গাইড বান্ডিলের চারপাশে আরও সমানভাবে প্রবাহ বিতরণ করতে পারে। বাফেলটি এমনভাবে ডিজাইন করা উচিত যাতে উপলভ্য স্থানের মধ্যে ফিট করা যায় এবং পাসগুলির মধ্যে ফাঁক দিয়ে সরাসরি প্রবাহিত হয়। স্থানীয় বেগ বাড়ানোর জন্য একটি ছোট শিক্ষাবিদও ব্যবহার করা যেতে পারে।
সেমিকন্ডাক্টর পরিষেবার জন্য উপাদান এবং নির্মাণ
সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলির জন্য প্রায়ই উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রীর প্রয়োজন হয়। PTFE খাপটি কুমারী হওয়া উচিত, কম নিষ্কাশনযোগ্য পলিমার ছাড়া। ফ্ল্যাঞ্জটি শক্ত PTFE বা PTFE-রেখাযুক্ত স্টেইনলেস স্টিল হওয়া উচিত। দূষণ রোধ করার জন্য টার্মিনাল ঘেরটি সিল করা উচিত এবং বের করা উচিত।
ইনস্টলেশনের আগে হিটার পরিষ্কার এবং নিষ্ক্রিয় করা উচিত। কোন অবশিষ্টাংশ উত্পাদন তেল বা কণা প্রক্রিয়া স্নান দূষিত করতে পারেন.
যখন একটি স্ট্যান্ডার্ড হিটার টুলটি ফিট করতে পারে না
একটি স্ট্যান্ডার্ড হিটার খুব কমই একটি স্থান-সীমিত সেমিকন্ডাক্টর টুলের সাথে ফিট করে। উপলব্ধ স্থান খুব ছোট, আকৃতি খুব অনিয়মিত, এবং বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তা খুব কঠোর. একটি কাস্টম PTFE নিমজ্জন হিটার কনফিগারেশন একটি কমপ্যাক্ট মাল্টি-পাস বান্ডেল, একটি কঠিন PTFE ফ্ল্যাঞ্জ এবং একটি সিল করা টার্মিনাল ঘেরের সাথে নির্দিষ্ট টুলের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। স্পেসিফিকেশন প্রক্রিয়ার জন্য উপলব্ধ স্থানের মাত্রা, ফ্ল্যাঞ্জ খোলার, নিমজ্জনের গভীরতা, স্নানের রসায়ন, প্রয়োজনীয় ওয়াটেজ এবং বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা প্রয়োজন।
