একটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব একটি ভেজা বেঞ্চ প্রক্রিয়া ট্যাংক জন্য একটি কাস্টম PTFE নিমজ্জন হিটার প্রয়োজন. হিটারটি তাপীয় দায়িত্ব, রসায়ন এবং স্থানের সীমাবদ্ধতার জন্য সঠিকভাবে ডিজাইন করা হয়েছিল। এটি তিন মাসের জন্য ইনস্টল এবং সফলভাবে পরিচালিত হয়েছিল। তারপরে ফ্যাবের গুণমান বিভাগ গ্রাহক নিরীক্ষার জন্য ডকুমেন্টেশনের জন্য অনুরোধ করেছিল। হিটার সরবরাহকারী উপাদান ট্রেসেবিলিটি, সারফেস ফিনিস সার্টিফিকেশন, বা এক্সট্র্যাক্টেবল ডেটা প্রদান করতে পারেনি। নথিপত্র প্রাপ্ত না হওয়া পর্যন্ত হিটারটি পরিষেবা থেকে সরানো হয়েছিল।
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলির ডকুমেন্টেশন এবং সার্টিফিকেশনের প্রয়োজনীয়তা রয়েছে যা হিটারের বৈদ্যুতিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্যের বাইরে যায়। প্রয়োজনীয়তা কভার উপাদান বিশুদ্ধতা, পৃষ্ঠ ফিনিস, নিষ্কাশনযোগ্য, এবং ট্রেসেবিলিটি. সেমিকন্ডাক্টর পরিষেবার জন্য একটি কাস্টম PTFE নিমজ্জন হিটার অবশ্যই এই প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করবে এবং সরবরাহকারীকে অবশ্যই এটি প্রমাণ করার জন্য ডকুমেন্টেশন প্রদান করতে হবে।
উপাদানের সন্ধানযোগ্যতা এবং বিশুদ্ধতা
একটি সেমিকন্ডাক্টর হিটারে ব্যবহৃত PTFE অবশ্যই রজন লটে সনাক্তযোগ্য হতে হবে। সরবরাহকারীকে অবশ্যই পলিমারের জন্য একটি সার্টিফিকেট অফ অ্যানালাইসিস (CoA) প্রদান করতে হবে, লট নম্বর, প্রস্তুতকারক, এবং মূল বৈশিষ্ট্য-আণবিক ওজন, স্ফটিকতা, এবং অপরিচ্ছন্নতার মাত্রা দেখাতে হবে।
PTFE অবশ্যই কুমারী, অপূর্ণ পলিমার হতে হবে। ভরা PTFE-কাঁচ, কার্বন, বা অন্যান্য সংযোজনযুক্ত-গ্রহণযোগ্য নয় কারণ ফিলারগুলি প্রক্রিয়া স্নানের মধ্যে ঢুকতে পারে। পলিমারকে অবশ্যই প্রক্রিয়াটির বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে হবে, সাধারণত নির্দিষ্ট সীমার নীচে নিষ্কাশনযোগ্য আয়ন সহ।
| ডকুমেন্টেশন | এটা কি প্রত্যয়িত | সাধারণ প্রয়োজন |
|---|---|---|
| রজন CoA | অনেক traceability, বৈশিষ্ট্য | আণবিক ওজন, অপবিত্রতা মাত্রা |
| উপাদান সার্টিফিকেশন | ভার্জিন PTFE, কোন ফিলার নেই | 100% ভার্জিন PTFE |
| Extractables রিপোর্ট | আয়নিক দূষণ | <50 ppb per ion |
| সারফেস ফিনিস রিপোর্ট | রা মান | <0.4 μm Ra |
| মাত্রিক পরিদর্শন | সহনশীলতা সম্মতি | প্রতি অঙ্কন |
সেমিকন্ডাক্টর PTFE হিটারের জন্য উপাদানের সন্ধানযোগ্যতা এবং বিশুদ্ধতা ডকুমেন্টেশন
পৃষ্ঠ সমাপ্তি এবং পরিচ্ছন্নতা
সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির জন্য মসৃণ, পরিষ্কার পৃষ্ঠতলের প্রয়োজন হয় যা কণাকে আটকে রাখে না বা দূষকগুলিকে ছেড়ে দেয় না। PTFE খাপের সারফেস ফিনিস অবশ্যই 0.4 μm Ra বা তার চেয়ে ভালো হতে হবে। একটি রুক্ষ পৃষ্ঠ কণাকে আশ্রয় দিতে পারে এবং বায়োফিল্ম গঠনকে উৎসাহিত করতে পারে।
ইনস্টলেশনের আগে হিটারটি অবশ্যই পরিষ্কার এবং নিষ্ক্রিয় করতে হবে। পরিষ্কারের প্রক্রিয়াটি উত্পাদন অবশিষ্টাংশ, তেল এবং কণাগুলিকে সরিয়ে দেয়। নিষ্ক্রিয়করণ প্রক্রিয়া নিশ্চিত করে যে পৃষ্ঠটি রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় এবং প্রক্রিয়া স্নানের মধ্যে দূষক মুক্ত করে না।
একটি সারফেস ফিনিস রিপোর্ট এবং ক্লিনিং সার্টিফিকেশন হিটারের পরিচ্ছন্নতার নথি। রিপোর্টে পরিমাপ পদ্ধতি, নমুনা স্থান এবং ফলাফল অন্তর্ভুক্ত করা উচিত।
Extractables এবং Leachables টেস্টিং
Extractables টেস্টিং প্রক্রিয়া তরল মধ্যে হিটার থেকে আয়ন, জৈব, এবং কণা মুক্তি পরিমাপ. পরীক্ষায় একটি নির্দিষ্ট সময়ের জন্য অপারেটিং তাপমাত্রায় অতি বিশুদ্ধ জলে হিটার বা একটি প্রতিনিধি প্রক্রিয়া তরল ডুবিয়ে রাখা হয়, তারপর দূষকগুলির জন্য তরল বিশ্লেষণ করা হয়।
নিষ্কাশনযোগ্য সীমা প্রক্রিয়ার উপর নির্ভর করে। জটিল অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়ার জন্য, ধাতু এবং জৈব পদার্থের জন্য সীমা নিম্ন অংশে-প্রতি-বিলিয়ন পরিসরে হতে পারে। পরীক্ষার রিপোর্ট ফলাফল নথিভুক্ত করে এবং প্রত্যয়িত করে যে হিটার প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
| পরীক্ষা | এটা কি পরিমাপ | সাধারণ সীমা | পদ্ধতি |
|---|---|---|---|
| ধাতু নিষ্কাশনযোগ্য | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | আইসিপি-এমএস |
| জৈব নিষ্কাশনযোগ্য | TOC, নির্দিষ্ট জৈব | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| কণা মুক্তি | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | তরল কণা কাউন্টার |
| অ্যানিয়ন নিষ্কাশনযোগ্য | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | আয়ন ক্রোমাটোগ্রাফি |
সেমিকন্ডাক্টর PTFE হিটারের জন্য Extractables পরীক্ষার প্রয়োজনীয়তা
বৈদ্যুতিক এবং নিরাপত্তা সার্টিফিকেশন
হিটারকে ফ্যাবের বৈদ্যুতিক নিরাপত্তার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে হবে। উত্তর আমেরিকাতে, এটি সাধারণত UL বা ETL তালিকাকে বোঝায়। ইউরোপে, এর অর্থ হল প্রযোজ্য নির্দেশাবলী মেনে চলার সাথে সিই চিহ্নিত করা।
টার্মিনাল ঘের অবশ্যই উপযুক্ত প্রবেশ সুরক্ষা রেটিং পূরণ করতে হবে{0}}সাধারণত IP66 বা NEMA 4X। হিটারটি অবশ্যই ফ্যাবের গ্রাউন্ড ফল্ট সুরক্ষা ব্যবস্থার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে হবে।
| সার্টিফিকেশন | অঞ্চল | এটা কভার কি | সাধারণ প্রয়োজন |
|---|---|---|---|
| ইউএল 499 | উত্তর আমেরিকা | বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা | তালিকাভুক্ত বা স্বীকৃত |
| সিই | ইউরোপ | নিরাপত্তা, EMC | চিহ্নিতকরণ এবং ঘোষণা |
| IP66 | আন্তর্জাতিক | প্রবেশ সুরক্ষা | টার্মিনাল ঘের |
| ATEX | ইউরোপ | বিস্ফোরণ-প্রমাণ | যদি দাহ্য বায়ুমণ্ডল |
| SEMI S2 | সেমিকন্ডাক্টর | নিরাপত্তা নির্দেশিকা | ফ্যাব প্রয়োজনীয়তা |
সেমিকন্ডাক্টর PTFE হিটারের জন্য বৈদ্যুতিক এবং নিরাপত্তা সার্টিফিকেশন
ট্রেসেবিলিটি এবং ডকুমেন্টেশন প্যাকেজ
একটি সেমিকন্ডাক্টর হিটারের জন্য ডকুমেন্টেশন প্যাকেজ উপাদান সার্টিফিকেশন, পৃষ্ঠ ফিনিস রিপোর্ট, নিষ্কাশনযোগ্য পরীক্ষার রিপোর্ট, বৈদ্যুতিক সার্টিফিকেশন, এবং মাত্রিক পরিদর্শন রিপোর্ট অন্তর্ভুক্ত। প্যাকেজটি অবশ্যই নির্দিষ্ট হিটারের সিরিয়াল নম্বরে সনাক্তযোগ্য হতে হবে।
হিটার গ্রহণ করার আগে প্যাকেজটি ফ্যাবের গুণমান বিভাগ দ্বারা পর্যালোচনা করা হয়। অসম্পূর্ণ ডকুমেন্টেশন ইনস্টলেশন বিলম্বিত হতে পারে বা প্রত্যাখ্যান হতে পারে।
যখন স্ট্যান্ডার্ড হিটার ডকুমেন্টেশনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে না
স্ট্যান্ডার্ড PTFE নিমজ্জন হিটার সেমিকন্ডাক্টর পরিষেবার জন্য প্রয়োজনীয় ডকুমেন্টেশন প্যাকেজের সাথে সরবরাহ করা হয় না। সেমিকন্ডাক্টর পরিষেবার জন্য ডিজাইন করা একটি কাস্টম PTFE নিমজ্জন হিটারে ডকুমেন্টেশন, টেস্টিং এবং প্রয়োজনীয় ট্রেসেবিলিটি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। স্পেসিফিকেশন প্রক্রিয়া প্রক্রিয়ার রসায়ন, বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তা, পৃষ্ঠ ফিনিস স্পেসিফিকেশন, নিষ্কাশনযোগ্য সীমা, এবং বৈদ্যুতিক সার্টিফিকেশন প্রয়োজন।
