একটি কম্প্যাক্ট ভেজা বেঞ্চ চেম্বারে একটি ব্যর্থ PTFE নিমজ্জন হিটার প্রতিস্থাপন করার জন্য একটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধা প্রয়োজন। উপলব্ধ স্থানটি ট্যাঙ্কের প্রাচীর বরাবর একটি 150 মিমি চওড়া স্লট, 400 মিমি গভীর, একটি 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ খোলার সাথে। প্রয়োজনীয় ওয়াটেজ ছিল 2.5 কিলোওয়াট। স্ট্যান্ডার্ড ক্যাটালগ হিটারগুলি হয় খুব চওড়া, খুব দীর্ঘ, বা স্থানের জন্য ওয়াটের ঘনত্বে খুব বেশি। সুবিধার জন্য একটি কাস্টম হিটারের প্রয়োজন ছিল যা স্লটের সাথে মানানসই এবং নিরাপদ ওয়াট ঘনত্বে পরিচালিত হয়।
একটি কম্প্যাক্ট ভেজা বেঞ্চ চেম্বারের জন্য একটি PTFE নিমজ্জন হিটার নির্দিষ্ট করার জন্য একটি বড় প্লেটিং ট্যাঙ্কের জন্য নির্দিষ্ট করার চেয়ে ভিন্ন পদ্ধতির প্রয়োজন। স্থানের সীমাবদ্ধতাগুলি কঠোর, রসায়ন প্রায়শই আরও আক্রমণাত্মক হয় এবং তাপমাত্রার অভিন্নতার প্রয়োজনীয়তাগুলি আরও বেশি দাবি করে। স্পেসিফিকেশন অবশ্যই একটি খুব ছোট খামের মধ্যে ওয়াটের ঘনত্ব, পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল এবং শারীরিক ফিটের মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখতে হবে।
মহাকাশ সীমাবদ্ধতা বিশ্লেষণ
প্রথম ধাপ হল উপলব্ধ স্থানকে সুনির্দিষ্টভাবে ম্যাপ করা। একটি ভেজা বেঞ্চ চেম্বারে, হিটার স্থানটি প্রায়শই একপাশে ট্যাঙ্কের প্রাচীর দ্বারা, অন্য দিকে ওয়েফার ক্যারিয়ারের পথ এবং নীচের ট্যাঙ্কের নীচে দ্বারা সংজ্ঞায়িত করা হয়। উপলব্ধ ভলিউম একটি অনিয়মিত আকার হতে পারে যা একটি স্ট্যান্ডার্ড হিটার পূরণ করতে পারে না।
মূল মাত্রাগুলি হল সর্বাধিক প্রস্থ, সর্বাধিক গভীরতা, সর্বোচ্চ উচ্চতা এবং চলমান অংশগুলির ছাড়পত্র। ফ্ল্যাঞ্জ ওপেনিং হিটারের সর্বাধিক ব্যাস নির্ধারণ করে যা ঢোকানো যেতে পারে। নিমজ্জন গভীরতা ব্যবহারযোগ্য উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সংজ্ঞায়িত করে।
| মাত্রা | সাধারণ সীমাবদ্ধতা | হিটার ডিজাইনের উপর প্রভাব |
|---|---|---|
| উপলব্ধ প্রস্থ | 100-200 মিমি | হিটারের প্রস্থ সীমাবদ্ধ করে |
| উপলব্ধ গভীরতা | 300-500 মিমি | উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সীমাবদ্ধ |
| ফ্ল্যাঞ্জ খোলার | 80-150 মিমি | হিটার সন্নিবেশ সীমাবদ্ধ |
| নিমজ্জন গভীরতা | 200-400 মিমি | উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য সীমাবদ্ধ |
| বাহককে ছাড়পত্র | 50-100 মিমি | প্রোট্রুশন সীমাবদ্ধ করে |
কম্প্যাক্ট ভেজা বেঞ্চ চেম্বারে স্থান সীমাবদ্ধতা
ওয়াট ঘনত্ব এবং সারফেস এরিয়া গণনা
1.0 ওয়াট/সেমি² এর একটি নিরাপদ ওয়াট ঘনত্বে একটি 2.5 কিলোওয়াট ডিউটির জন্য 2,500 সেমি² খাপ পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল প্রয়োজন। একটি স্থান-সীমিত চেম্বারে, পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল অর্জনের জন্য একটি কমপ্যাক্ট L-আকৃতির বা U-আকৃতির কনফিগারেশন প্রয়োজন।
একটি L-আকৃতির হিটার একটি 250 মিমি উল্লম্ব অংশ এবং একটি 350 মিমি অনুভূমিক অংশ 600 মিমি উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য প্রদান করে। একটি 50 মিমি খাপের ব্যাসে, যা প্রায় 942 সেমি² পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল প্রদান করে-প্রয়োজনের অর্ধেকেরও কম। অতিরিক্ত পাস সহ একটি মাল্টি-পাস কনফিগারেশন প্রয়োজন৷
| হিটার কনফিগারেশন | উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য | 32 মিমি সারফেস এরিয়া | 50 মিমি সারফেস এরিয়া | 150 মিমি স্লটে ফিট করুন |
|---|---|---|---|---|
| সোজা, 250 মিমি | 250 মিমি | 250 সেমি² | 393 সেমি² | হ্যাঁ, কিন্তু অপর্যাপ্ত এলাকা |
| L-আকৃতির, 250 + 350 মিমি | 600 মিমি | 600 সেমি² | 942 সেমি² | হ্যাঁ |
| U-আকৃতির, 250 + 200 + 250 মিমি | 700 মিমি | 700 সেমি² | 1,100 সেমি² | হ্যাঁ |
| মাল্টি-পাস, 4 × 250 মিমি | 1,000 মিমি | 1,000 সেমি² | 1,571 সেমি² | হ্যাঁ |
| মাল্টি-পাস, 7 × 250 মিমি | 1,750 মিমি | 1,750 সেমি² | 2,749 সেমি² | টাইট ফিট |
একটি কমপ্যাক্ট চেম্বারে 1.0 W/cm² এ 2.5 kW ডিউটির জন্য হিটার কনফিগারেশন
স্লটে হিটার লাগানো
হিটারটি অবশ্যই ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মাধ্যমে এবং উপলব্ধ স্লটে ফিট হতে হবে। একটি 350 মিমি প্রস্থের একটি হিটার 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মাধ্যমে মাপসই হবে না। সমাধানটি হল হিটারটিকে উল্লম্বভাবে অভিমুখী করা যাতে এর প্রস্থ স্লটের গভীরতার সাথে এবং এর পুরুত্ব ফ্ল্যাঞ্জ খোলার সাথে সারিবদ্ধ হয়।
250 মিমি উত্তপ্ত দৈর্ঘ্য, 350 মিমি প্রস্থ এবং 50 মিমি বান্ডিল ব্যাস সহ একটি মাল্টি-পাস হিটার 100 মিমি ফ্ল্যাঞ্জ খোলার মাধ্যমে ঢোকানো যেতে পারে যদি 50 মিমি বান্ডিল ব্যাস খোলার সাথে সারিবদ্ধ হয়। একবার ট্যাঙ্কের ভিতরে, হিটারটি অবস্থানে ঘোরানো হয়।
টাইট স্পেসে প্রবাহ এবং তাপমাত্রার অভিন্নতা
একটি কমপ্যাক্ট চেম্বারে, হিটারের চারপাশে প্রবাহ প্রায়ই কাছাকাছি ট্যাঙ্ক প্রাচীর এবং ওয়েফার ক্যারিয়ার দ্বারা সীমাবদ্ধ থাকে। প্রবাহ অসম হতে পারে, একদিকে উচ্চ বেগ এবং অন্যদিকে কম বেগ। এটি কম-বেগের দিকে হট স্পট তৈরি করতে পারে।
একটি ছিদ্রযুক্ত বাফেল বা একটি ফ্লো গাইড হিটারের চারপাশে আরও সমানভাবে প্রবাহ বিতরণ করতে পারে। বাফেলটি এমনভাবে ডিজাইন করা উচিত যাতে উপলভ্য স্থানের মধ্যে ফিট করা যায় এবং পাসগুলির মধ্যে ফাঁক দিয়ে সরাসরি প্রবাহিত হয়।
সেমিকন্ডাক্টর পরিষেবার জন্য উপাদান এবং নির্মাণ
সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলির জন্য প্রায়ই উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রীর প্রয়োজন হয়। PTFE খাপটি কুমারী হওয়া উচিত, কম নিষ্কাশনযোগ্য পলিমার ছাড়া। ফ্ল্যাঞ্জটি শক্ত PTFE বা PTFE-রেখাযুক্ত স্টেইনলেস স্টিল হওয়া উচিত। দূষণ রোধ করার জন্য টার্মিনাল ঘেরটি সিল করা উচিত এবং বের করা উচিত।
ইনস্টলেশনের আগে হিটার পরিষ্কার এবং নিষ্ক্রিয় করা উচিত। কোন অবশিষ্টাংশ উত্পাদন তেল বা কণা প্রক্রিয়া স্নান দূষিত করতে পারেন.
যখন একটি স্ট্যান্ডার্ড হিটার চেম্বারে ফিট করতে পারে না
একটি সাধারণ হিটার খুব কমই একটি কমপ্যাক্ট ভেজা বেঞ্চ চেম্বারে ফিট করে। উপলব্ধ স্থান খুব ছোট, আকৃতি খুব অনিয়মিত, এবং বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তা খুব কঠোর. একটি মাল্টি-পাস ডিজাইন, একটি কমপ্যাক্ট ফুটপ্রিন্ট, এবং একটি সিল করা টার্মিনাল ঘের সহ একটি কাস্টম PTFE নিমজ্জন হিটার কনফিগারেশন স্থান সীমাবদ্ধতার মূল কারণকে সমাধান করে৷ স্পেসিফিকেশন প্রক্রিয়ার জন্য উপলব্ধ স্থানের মাত্রা, ফ্ল্যাঞ্জ খোলার, নিমজ্জনের গভীরতা, স্নানের রসায়ন, প্রয়োজনীয় ওয়াটেজ এবং বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা প্রয়োজন। কমপ্যাক্ট চেম্বার সহ সুবিধাগুলির জন্য, এই অ্যাপ্লিকেশন-নির্দিষ্ট পদ্ধতি উপলব্ধ স্থানের মধ্যে প্রয়োজনীয় পৃষ্ঠ এলাকা প্রদান করে।
